5517周边设备
雷射电子轴卡系列 及 轴卡光缆传输讯号线
利用电子轴卡将在接收器端取得的讯号转化成可读取的资料，因应使用者各种需求，目前解析度最高可达0.15nm，分割倍率可达1024倍，突破了以往stage移动速度上的限制与降低杂讯，提供了更优质的应用，例如IC製造设备的重複定位精度和准确性。其高资料转化速率能满足于高频宽与高性能必迴路系统的应用。
雷射接收器
接收器用于每个量测轴，接收透过多轴所分出的雷射光束，在机台运行间量测其位移的改变；Keysight(Agilent )的接收器从搭配内崁式的镜组，一路演变到由光纤直接将讯号传输至VME电子轴卡上，让使用者更能弹性的做位置上的调整，以N1225A型号来说，多个N1225A板连接在一起，其可达到31个轴的位置量测。配合Agilent雷射头、光纤和光学配置，可让使用者在严格的应用要求下，量身定制出一个准确的定位系统。
雷射光强度检测仪
是德科技雷射管虽然有高于一般工业级使用时数50,000小时，经过长时间的使用过后，雷射的功率及频率可能会衰退，加上不同机台上光路的设计，雷射光经过多次分光，真正到达光接收器的强度可能已经衰减到小于接收器最小接收强度。因此为了诊断雷射管是否老化衰减，建议购买雷射光强度检测器 (Laser power meter)，检测雷射光是否衰减而不足，判断是否在机台保养时更换雷射头，避免因雷射光衰减造成机台当机，以减少产能损失。