5517周邊設備
雷射電子軸卡系列 及 軸卡光纜傳輸訊號線
利用電子軸卡將在接收器端取得的訊號轉化成可讀取的資料，因應使用者各種需求，目前解析度最高可達0.15nm，分割倍率可達1024倍，突破了以往stage移動速度上的限制與降低雜訊，提供了更優質的應用，例如IC製造設備的重複定位精度和準確性。其高資料轉化速率能滿足於高頻寬與高性能必迴路系統的應用。
雷射接收器
接收器用於每個量測軸，接收透過多軸所分出的雷射光束，在機台運行間量測其位移的改變；Keysight(Agilent )的接收器從搭配內崁式的鏡組，一路演變到由光纖直接將訊號傳輸至VME電子軸卡上，讓使用者更能彈性的做位置上的調整，以N1225A型號來說，多個N1225A板連接在一起，其可達到31個軸的位置量測。配合Agilent雷射頭、光纖和光學配置，可讓使用者在嚴格的應用要求下，量身定制出一個準確的定位系統。
雷射光強度檢測儀
是德科技雷射管雖然有高於一般工業級使用時數50,000小時，經過長時間的使用過後，雷射的功率及頻率可能會衰退，加上不同機台上光路的設計，雷射光經過多次分光，真正到達光接收器的強度可能已經衰減到小於接收器最小接收強度。因此為了診斷雷射管是否老化衰減，建議購買雷射光強度檢測器 (Laser power meter)，檢測雷射光是否衰減而不足，判斷是否在機台保養時更換雷射頭，避免因雷射光衰減造成機台當機，以減少產能損失。