Keysight 5517 雷射系統(半導體/面板/PCB解決方案)

5517雷射系列

Keysight 5517雷射校正系統是針對半導體、曝光機及微機電等相關產業所設計出的精密定位回饋系統，用以補足光學尺所無法達到的位移精度。是德科技雷射屬於氦氖雙頻雷射，具有高度穩定性與準確的633nm wavelength，可提供一個標準且穩定的雷射信號源，透過機台上光路的設計，達到可進行多軸距離檢測及位置回饋的定位系統。

5517雷射系列中有多種頻率、功率、光束以及特殊選項，可滿足所有精確定位的嚴格需求。不論您的雷射系統是5517C、5517D或是有特殊規格的OPTION如：C05、C06、C07、C11、C13、N07等(詳見列表以及實例)，我們均擁有原廠技術支援的優勢，並且使用美國原廠的維修料件來替您服務。

其一般常見型號可由下表中查閱。

AOM系列雷射 (acousto-optic modulated)

聲光調變器（AOM）雷射頭和遠程光纖合束器（Remote Optical Combiners）提供高功率和高頻率雷射的輸出，可支援多軸和高速定位平台的干涉應用。

主要特色

  • 高穩定性雷射能夠進行高精度測量
  • 高功率和高頻率可支援多軸與高速的應用
  • 遠程光纖合束器元件是低發熱世代的產物，是導熱敏感應用上的理想選擇
  • 10米長的光纖是AOM雷射頭與遠程光纖束合器間的連結，所提供的彈性設計
  • 氣冷式AOM雷射，不需要額外的水冷系統