Keysight 5517 雷射系统(半导体/面板/PCB解决方案)

5517雷射系列

Keysight 5517雷射校正系统是针对半导体、曝光机及PCB等相关产业所设计出的精密定位回馈系统,用以补足光学尺所无法达到的位移精度。是德科技雷射属于氦氖双频雷射,具有高度稳定性与准确的633nm wavelength,可提供一个标准且稳定的雷射信号源,透过机台上光路的设计,达到可进行多轴距离检测及位置回馈的定位系统。

5517雷射系列中有多种频率、功率、光束以及特殊选项,可满足所有精确定位的严格需求。不论您的雷射系统是5517C、5517D或是有特殊规格的OPTION如:C05、C06、C07、C11、C13、N07等(详见列表以及实例),我们均拥有原厂技术支援的优势,并且使用美国原厂的维修料件来替您服务。

其一般常见型号可由下表中查阅。

AOM系列雷射 (acousto-optic modulated)

声光调变器(AOM)雷射头和远程光纤合束器(Remote Optical Combiners)提供高功率和高频率雷射的输出,可支援多轴和高速定位平台的干涉应用。

主要特色

  • 高稳定性雷射能够进行高精度测量
  • 高功率和高频率可支援多轴与高速的应用
  • 远程光纤合束器元件是低发热世代的产物,是导热敏感应用上的理想选择
  • 10米长的光纤是AOM雷射头与远程光纤束合器间的连结,所提供的弹性设计
  • 气冷式AOM雷射,不需要额外的水冷系统